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在精密真空测量和定位系统中，材料的热膨胀特性直接影响测量精度和系统稳定性。因瓦合金36凭借其超低的热膨胀系数，成为高精度真空设备的首选结构材料。

材料采用多级热处理工艺：首先在830℃保温1小时进行均匀化处理，随后以50℃/h的速率缓冷至600℃，最后在315℃进行48小时稳定化处理。这一特殊工艺使材料在20-100℃温度范围内的热膨胀系数降至1.2×10⁻⁶/℃。

在真空环境下的尺寸稳定性测试中，材料表现出卓越性能。在10⁻⁶ Pa真空度、温度波动±5℃的条件下，材料长度变化小于0.5μm/m。通过X射线衍射分析显示，材料在经历多次温度循环后，晶格参数变化率小于0.01%。

我们采用激光干涉仪精确测量材料的热膨胀系数，通过残余应力分析仪评估加工应力分布。建立了一套完整的尺寸稳定性预测模型，为精密真空设备的设计制造提供可靠的技术保障。